Hvers vegna að nota kísilduft með miklum hreinleika til að búa til hálfleiðaraefni
Snemma hálfleiðaraefni voru gerð úr germanium vegna þess að hreinsitækni fyrir kísil var ekki þroskuð. Fyrstu samþættu hringrásirnar voru byggðar á germanium. Það eru nokkrar mögulegar ástæður fyrir því að nota háhreint kísilduft til að búa til hálfleiðaraefni. Jarðskorpan' inniheldur mikið kísil. Byggt á núverandi notkun okkar á hálfleiðarakísil, ef við notum ennþá germanium, gæti verið að það sé ekki mikið af Germanium eftir á jörðinni (ég hef' ég hef ekki nákvæma talningu).
Tengi kísils og kísils. Yfirborðseiginleikar kísilduft með miklum hreinleika eru góðir. Samanborið við viðmót samsvarandi oxíðlags annarra hálfleiðaraefna er viðmót kísils og kísils fullkomið. Með tækniþróuninni verður stjórnun viðmótgalla betri og betri. Til dæmis, eftir að hreint herbergi hefur verið breytt, hafa áhrif galla verið lítil. Á sama tíma, þegar óhreinindum er sprautað, getur kísill virkað sem hlífðarlag og hindrað í raun fosfór, bór og önnur óhreinindi. Í öðru lagi er kísilduft með miklum hreinleika mjög stöðugt einangrunarefni (orkubil þess er um það bil 9eV, ég veit ekki' veit ekki hvort ég man rétt), og germanium díoxíð er ekki aðeins óstöðugur við háan hita, heldur einnig leysanlegt í vatni, meðan kísildíoxíð hefur alls ekki slíkt vandamál; Stóra orkugil kísils mun gera lekaheyrnina litla (auðvitað, ef oxíðlagið er of þunnt, mun lekastraumurinn aukast).
Í samanburði við germanium hefur kísilduft með miklum hreinleika stærra bil, þannig að það þolir hærra rekstrarhita og fjölbreyttari lyfjaóhreinindi. Kísill hefur einnig hærri bilunarspennu. Fyrri hálfleiðarabúnaður er gerður úr germanium, þroskaðri tækni, hraðari skiptisvörun. En það kostar mikla peninga. Kapítalistar völdu kísil og margir vísindamenn byrjuðu að slá í gegn í kísil. Auðvitað hefur þetta að gera með marga góða eiginleika kísilsins sjálfs, svo sem mikinn forða og stöðugan árangur. Annar kostur er að kísil er náttúrulegt einangrunarefni og hægt að nota það beint sem millilag eftir hitameðferð.
Háhreinleiki kísilduft með 99% (2N), 99,9% (3N), 99,99% (4N) kísilinnihald, súrefni, kolefni, fosfór, brennisteinn og málmhreinleiki er mjög lágt, sem getur mætt þörfum iðnaðarferlisins með mikla kröfur um óhreinindi og fylltu skarðið á sviði iðnaðar sílikon duft í Kína. Loft- / bifreiðaálblöndur, títanblendi, koparblöndur, hágæða kísilnítríð og kolefni ...
Í heiminum er framleiðsla á háum hreinleika og miklum hreinleika kísilduftefnum enn einkennist af Bandaríkjunum, Þýskalandi, Japan og Suður-Kóreu. Með hvatningu til stefnu stjórnvalda og mikillar fjárhagslegrar aðstoðar, þar sem treyst var á sjálfsmíðaðar virkjanir, ívilnandi raforkuverð, ríkisstyrki og skattastyrki og annan stuðning við stefnuna, fylgdumst við jafn með tæknibreytingum og stækkun getu.
